《薄膜材料:应力缺陷的形鲁谈治概演成和表面演化》是2007年科学出版社出版的图书，作者是美国科学家弗罗伊德。本书全面来自阐述了薄膜中的应力以及因其产生的缺陷形成和表面演化等问题。

• 书名 薄膜材料:应力缺陷的形成和表面演化
• 作者 弗罗伊德(美)
• ISBN 9787030134271
• 出版社 科学
• 出版时间 2007-01-01

内容简介

　　薄膜在微电子器件、肱存储来自介质和表面封装等技术应用领域发挥着重要作用，本书内容兼顾理论、实验和计算机模拟，适合工程技术人员、材料科学和物理学研究人员阅读。本书英文版被美国哈佛大学、布朗大学、麻省理工学院、斯坦福大学等大学用作研360百科究生教材。

　　本书总结了过去几十年里薄膜材料的研究进展，阿族振送属易架吗款同时将重点放在薄膜中内应力的起源、发展及其影响等诸多方面，书中不仅系统考虑了薄膜一基底系统或多层膜系统的整体变形及薄膜的断裂、脱层和响还八副但创终远功果翘曲，而且还考虑了更小尺度上薄膜中位错的形成及非弹性变形。薄膜中应力的影响与薄膜材料结构之间的联系贯穿于整书的讨论。通集过举例计算和有实际意端可义的实例分析及讨论，更加具体地病兴外影至属兵层尽位阐明了书中的基本概念，并于每章后附有习题。

出版信写压差云苦很念写烧读息

　　I S B N :9787030134271

　　作 者:弗罗伊德(美)

　　出 版 社:科学

　　出版时间:2007-01-消01

　　版 次:初版

　　开 本:16开

　　包 张:精装

目录

　　来自第1章引言和总论

　　第2章薄膜应力和基底曲率

　　第3360百科章各向异性和图形薄膜中的应力

　　第4章脱层和断裂

　　第5绿章薄膜的翘曲、鼓包和剥离

　　英字来武第6章外延系统中周胜纪续随的位错形成

　　第7章位错交互作用和应变弛豫

　　第8章表面的平衡和稳定性

　　第9章应力在传味延质中的作用

　　参考文献

　　英汉名词索引