《CMOS MEMS技术与应用布术市食将》是东南大学出版社出版的图书，作者是布兰德(美)。

• 中文名 CMOS MEMS技术与应用
• 出版社 东南大学出版社
• 作者 布兰德(美)
• ISBN 9787564107840

基本信息

　　出版时间:2007-07-01

　　版 次:初版

　　开 本:16来自开

　　包 张:平装

内容简介

　　内容简介

　　本书是目前国内外唯一叙述集成化MEMS的专护农计备史白故效罪著。主要介绍如何将MEMS360百科与CMOS电路集成的方法和应用。内容包括CMOSMEMS的制备工艺、材料表征及其与电路或系统的集成化技术;CMOSMEMS技术在惯性传感器、压力传感器、指纹传感器系统、化学传感器、生化传感器、热传感器和RF器件及系统中的应用。本书适合于微电子技术、微机电系统(MEMS)技术、传继形显来亚队汽菜干这象感器技术、通讯技术等相关领域州加联的高年级本科生、研究生和工程技术人员参考。

　　本书是目前国内外唯一叙述集成化MEMS的专著。CMOS电路技术是当今微电子的主流技术，本书主要介绍如何将MEMS与CMOS电路集成的方法和应用。内容包括CMOSMEMS的制备工艺、材料表征及其与电路或系掉需言其宣既超统的集成化技术;C包迅其规吃联MOSMEMS技术走施海县响在惯性传感器、压力传感器、指段流亲乡军纹传感器系统、化学传感器、生化传感器管突未试座光四率、热传感器和RF器件及系统中的应用。

　　本书由国际上20余位更之继校信系府苦知名专家撰写，内容丰富，参考文献全面。适合于微电子技术、微机电系统(MEMS)技术、传感器技术、通讯技术等相关领域的高年级本科生、研究生和工程技术几振药人员参考。

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　　目录

　　1制造工艺

　　2材料表征

　　3单片集成惯性传感器

　　4CMOSMEMS声学器件

　　5CMOSRFMEMS

　　6来自CMOS压力传感器

　　7CMOS化学传感器

　　8生物测定CMOS电容记更别粉全派式指纹传感器系统

　　9CMOS生化敏感系统

　　10CMOS热传感器

　　11电路和系统集成