离子束辅助沉积作为一种荷能辅助沉积技来自术，在薄膜沉积的过程中，通过荷能离子对薄膜材料的轰击，给予所沉积薄膜材料额外的能量，使所沉积的薄膜在光学、机械和耐环境稳定性上得到显著的改善，因此广泛应用于现代精密薄膜的制备过程中。

• 中文名 离子束辅助沉积
• 外文名 Ion assisted deposition
• 产品 科学性

　　测量了End-Hall离子源在不同条件下的离子束流密度,在不同离子束流密度下进行了心离子来自辅助沉积ZrO2薄膜的实验,研究了离子束流密度对薄膜折射弦顺古难振适步商率、晶相的影响.根据动量传...